Que é unha placa de pulido de obleas de cerámica de alúmina de alta pureza?

Co rápido desenvolvemento da industria dos semicondutores, a escala da industria aumentou rapidamente e os equipos de fabricación de semicondutores continuaron a evolucionar cara á precisión e a complexidade. Debido a que a cerámica ten as vantaxes de alta dureza, alto módulo elástico, alta resistencia ao desgaste, alto illamento, resistencia á corrosión, baixa expansión, etc., pódese usar como pezas de máquinas de pulido de silicio, equipos de tratamento térmico epitaxial/oxidación/difusión, máquinas de litografía, equipos de deposición, equipos de gravado de semicondutores, máquinas de implantación de ións e outros equipos, polo que a investigación, o desenvolvemento e a produción de pezas cerámicas de precisión afectan directamente o desenvolvemento da industria dos semicondutores. Os requisitos técnicos da súa preparación son cada vez maiores.

Alúmina de alta pureza, 99,7%-99,9% de alúmina.
Alta resistencia mecánica, alta resistencia ao desgaste, alto illamento eléctrico, alta estabilidade química, boa resistencia á calor e á corrosión. Na actualidade, o uso de discos de moenda cerámicos para obleas de silicio semicondutoras é o método de moenda máis superior e de vangarda. O proceso de moenda de dobre cara utilízase para moer a oblea de silicio cortada, e a calidade da oblea de moenda mellórase ao mellorar o proceso de moenda (material do disco, fluído de moenda, presión de moenda e velocidade de moenda, etc.). En particular, o uso de placas cerámicas en lugar de placas de ferro fundido, para evitar a moenda na superficie principal da oblea causada por cicatrices ou contaminación, reduce a introdución de ións metálicos, pode reducir o procesamento posterior do silicio, acurtar o tempo do proceso posterior (corrosión), mellorar a eficiencia da produción e reducir a perda do procesamento do silicio, mellorando en gran medida a utilización do silicio.

Placa de pulido de obleas de alta alúminautilízase en industrias de semicondutores, petróleo, produtos químicos, fotovoltaicos, cristal líquido e outras, como pezas mecánicas, pezas electrónicas, discos de indución de microondas, materiais de illamento e outras pezas, dispositivos semicondutores, equipos de baleiro, equipos de fabricación de cristal líquido e outras pezas. As cerámicas de alúmina de gran tamaño e alta pureza teñen un importante valor de aplicación na industria do zafiro e na industria dos chips semicondutores. É un soporte e consumible clave para o pulido químico-mecánico (CMP) de obleas de silicio de zafiro e semicondutores. As cerámicas de alúmina de gran tamaño e alta pureza tamén se poden usar como substrato de alúmina para LCD.