Chemshunplaca de pulido de obleas de alúminaA mesa xiratoria está feita de alúmina de alta pureza entre o 99,7 e o 99,9 %. A cerámica de alúmina de alta pureza presenta unha rixidez excepcional e unha excelente resistencia ao desgaste para o pulido de obleas e mantén unha boa forma superficial durante un longo período de tempo. Está moldeada mediante PIBM. Forma parte da industria dos semicondutores debido á súa incomparable estabilidade térmica e dimensional e á súa resistencia a ambientes severos de equipos de procesamento de microchips.
A planarización químico-mecánica (CMP), tamén coñecida como pulido químico-mecánico, é unha tecnoloxía no proceso de fabricación de dispositivos semicondutores. Emprega a corrosión química e as forzas mecánicas para alisar as obleas de silicio ou outros materiais de substrato durante o procesamento.
O equipo CMP divídese principalmente en dúas partes: a parte de pulido e a parte de limpeza. A parte de pulido consta de 4 partes, concretamente 3 plataformas xiratorias de pulido e un módulo de carga e descarga de obleas. A parte de limpeza é a responsable da limpeza e o secado da oblea para lograr o "secado" da mesma. En todo o equipo de pulido, a cerámica de alúmina xoga un papel importante.
A cerámica de alúmina úsase normalmente para preparar discos de pulido de obleas, que requiren alta pureza, alta durabilidade química e bo control da forma e rugosidade da superficie.
O disco de moenda cerámico Chemshun 99,7 % Al2O3 está feito de materiais cerámicos avanzados, axeitados para a moenda fina de diversos materiais, especialmente para a moenda de materiais fráxiles como obleas, cerámica e vidro. O noso disco de moenda cerámico pódese fabricar en diferentes tamaños segundo os diferentes modelos de moenda e pulido.
Data de publicación: 30 de maio de 2025